Dering Sealing SIC Kanggo Epitexy

Ⅰ. Apa dering segel sing dilapisi?

Cincin segel sing dilapisi SIC (cincin segel ditutupi karbida nganggo komponen Penelapan Penata sing dirancang kanggo suhu sing dhuwur, lingkungan proses semikonduktor sing corrosive. Intine yaiku liwat pemendharan uap kimia (Proses Proses vapor (PVD), grafit utawa komposisi bahan silikon karet (SIC), pembentukan kekuatan mekanik lan lapisan saka panyusun kinerja dhuwur.  

Ⅱ. Komposisi produk lan Teknologi inti  

1. Bahan Substrate:

Bahan komposisi utawa karbon-karbon: Bahan dhasar duwe kauntungan saka resistensi panas sing dhuwur (bisa tahan luwih saka 2000 ℃) lan koefisien ekspansi termal, saéngga njamin stabilitas dimensi kayata suhu sing dhuwur kayata suhu sing dhuwur banget.  

Struktur Machining Presisi: Desain cincin presisi bisa dicocogake kanthi rongga peralatan semikonduktor, saéngga bisa ngilangi lumahing sealing lan airthightness sing apik.  

2 .. lapisan fungsional:  

Pelapisan SIC Purity Tinggi (Kemurnian ≥99.99%): Kekandelan cooa biasane 10-50μm, liwat proses CVD kanggo nggawe lapisan struktur permukaan sing ora garing, menehi sifat mekanisme sing segel lan sifat mekanik.

Ⅲ. Properties fisik lan kaluwihan inti

Rings Reetek-Coated VetekSemicon SIC cocog kanggo proses Epitisme semikonduktor amarga kinerja sing apik banget ing kahanan sing apik banget. Ing ngisor iki minangka sifat fisik saka produk:

IV. Proses Proses Inti ing Semikonduktor Epitexy  

Dering Sealing SIC utamane digunakake ing MOCVD (metalitment kimia organik organik) lan MBE (molekuler Beam Epitembama) lan peralatan proses liyane, fungsi tartamtu kalebu: fungsional  

1. Perlindhungan peralatan semikonduktor kamar

Cincin sealing sing ditutupi SIC kita mesthekake yen toleransi dimensi (biasane ing antarmuka ing ± 0,01mm) antarmuka karo kamar peralatan (e.g. 

Ing wektu sing padha, cincin seger minangka mesin digawe mesin nggunakake alat Mesin CNC kanggo njamin seragam pas ing kabeh kurungan permukaan, ngilangi kesenjangan mikroskop. Iki kanthi efektif nyegah bocor gas proses (E.G. H₂, NH₃), mesthekake kesucian lingkungan wutah epitarial, lan nambah ngasilake wafer.  

Ing tangan liyane, rasa ketat gas sing apik uga bisa ngalangi intrusi saka polutan eksternal (O₂, h₂o), saengga bisa ngindhari cacat ing lapisan epitoxial (kayata doping impurities).  

2. Dhukungan Sealing Sealing Suhu Suhu High  

Nganggo prinsip anti-deformasi Anti -nergis-lapisan-lapisan, amarga koefisien tingkat ekspansi termal (CTE ≈ 4,5 ⁶ / ° sing dhuwur banget, lan kanthi efektif kanggo nyandhang permukaan logam sing disebabake dening deformasi termal. Digabungake karo kekerasan ultra-dhuwur saka lapisan sic (HV2500 utawa luwih), bisa nyebabake goresan kanthi efektif ing permukaan panyegelan sing disebabake geter mekanik sing disebabake getar mekanik, lan njaga lempung mikroskopik.

V. Rekomendasi Pangopènan

1. Priksa nyandhang lumahing sealing (pemeriksaan optik etcoskop mikroskop kanthi kuartal disaranake) supaya gagal dadakan.  

2.Gunakake khusus (kayata etanol andhydrous) kanggo mbusak celengan, nglarang tlatah mekanik kanggo nyegah karusakan ing lapisan sic.