Susceptor Planet sing dilapisi sic

Susceptor planet sing dilapisi sic minangka operator planrier ditutupisilikon karbida (sic), sing biasane digunakake ing proses pemanapan materi semikonduktor kayata deposisi kimia uap logam-organik (MOCVD), etcular epitexy (MBE), lsp. Fungsi utama yaiku nggawa lan muter wafers kanggo njamin keseragaman materi lan konsistensi lapangan termal sajrone pendhudhuk suhu, lan konduksi sisir, lan konduktivitas termalwaferPangolahan.

Skenario aplikasi inti kanggo susceptor planet sing dilapisi SIC

Proses pertumbuhan epitoxial mocvd

Ing proses MOCVD, Susceptor planet sing dilapisi biasane digunakake kanggo nggawa Wafers of Silicon (SIC), Galliker Carbide (SIC), Gallium Nitride (Gan), Gallium Arsenide (Galium) lan bahan liyane.

● Keperluan fungsional: Posisi sing tepat lan nyelarasake rotasi wafers kanggo njamin distribusi seragam bahan-bahan uap-setir ing permukaan wafer lan ningkatake keseragaman film ketebalan lan komposisi.

● Kauntungan: Lapisan SIC banget tahan karat banget lan bisa tahan eren saka prekursor logam-organor sing reaktif banget kayata Trimethylgallium (TMGA) lan Trimethylindium (TMIN).

Pabrik Piranti Pabrik Silikon Carbide (SIC)

Pelatihan planet sing dilapisi sic digunakake ing pertumbuhan EPitoxial piranti listrik SIC, kayata Mosfet, IgBT, SBD lan piranti liyane.

● Keperluan fungsional: Wenehi platform perjogen termal sing stabil ing lingkungan suhu sing dhuwur kanggo njamin kualitas crystalisasi lapisan epoitaxial lan kontrol cacat.

● Kauntungan: Klambi SIC tahan suhu dhuwur (> 1600 ° C) lan duwe koefisien ekspansi termal (4.0 × 10 ^ -6 K ^ -1) cedhak karo kualitas termal lan nambah kualitas lan stabil saka lapisan epitoxial.

Sambung Ultraviolet jero (DUV) lan ultraviolet Mimpin EPITAXALLING LED

Penyusuhan planet sing dilapisi SIC cocog kanggo wutah epitixial bahan kayata Gallium Nitride (Gan) lan aluminium Gallium Nitride (Algan), lan digunakake digunakake ing leds UV lan lebuh.

● Keperluan fungsional: Njaga kontrol suhu sing tepat lan distribusi airflow seragam kanggo njamin akurasi gelombang gelombang lan kinerja piranti.

● Kauntungan: Konduktivitas termal lan resistensi oksidasi sing apik kanggo suhu ing suhu sing dhuwur sajrone wektu operasi sing dawa, mbantu nambah efisiensi cerks.

Pilih vekemicon

Susceptor planet sing dilapisi VetekSemikon Sic wis nuduhake kaluwihan sing ora bisa diapusi kanthi suhu sing dhuwur, lingkungan pabrik semikonduktor ing sifat material sing unik liwat sifat material lan desain mekanik. Lan produk Susceptor planet utama kita yaiku susceptor planet sing dilapisi,Susceptor Ald Planet, Susceptor planet lapisan tacLan sapiturute. Ing wektu sing padha, para pembaluan setya menehi produk khusus lan layanan teknis ing industri semikonduktor. Kita tulus ngarep-arep dadi mitra jangka panjang ing China.