Susceptor SIC SIC SIC

Iku semikonduktor Susceptor SIC SIC SCD diprodhuksi nggunakake teknologi uap kimia paling anyar (CVD) paling anyar kanggo njamin kekiatan lan adaptasi suhu sing apik banget. Ing ngisor iki minangka sifat fisik utama:

● Stabilitas termal: Stabilitas termal dhuwur saka CVD SIC CVD njamin kinerja stabil miturut kahanan suhu sing dhuwur.

● Koefision ekspansi termal: Bahan kasebut duwe koefisi ekspansi termal sing kurang, sing nyuda warping lan cacat sing disebabake owah-owahan suhu.

● Rintangan Korosisi Kimia: Rintangan kimia sing apik banget supaya bisa njaga kinerja kanthi dhuwur ing macem-macem lingkungan sing angel.

Dhukungan tepat lan transfer panas sing dioptimalake

Pelapisan pancake adhedhasar VetekSemi dirancang kanggo nampi wafer semikonduktor lan menehi dhukungan sing apik sajrone pemendharan EPitoxial. Susceptor SIC dirancang kanthi nggunakake teknologi simulasi komputasi maju kanggo nyuda warping lan ubah sing beda ing suhu lan tekanan sing beda. Koefisi ekspansi termal khas yaiku udakara 4,0 × 10^-6/ ° C, tegese stabilitas dimensi luwih apik tinimbang bahan tradisional ing lingkungan suhu sing dhuwur, saéngga njamin konsistensi kekandelan wafer (biasane 200 mm nganti 300 mm).

Kajaba iku, susceptor pancake cvd luwih unggul, kanthi konduktivitas termal nganti 120 w / m · k. Konduktivitas termal dhuwur iki kanthi cepet lan efektif, ningkatake keseragaman suhu ing tungku, mesthekake distribusi angkasxial, lan nyuda cacat deposisi sing disebabake dening panas sing ora rata. Kinerja transfer panas sing dioptimalake kritis kanggo ningkatake kualitas pemintahan, sing bisa nyuda fluktuasi proses kanthi efektif lan nambah ngasilake.

Liwat optimisasi desain lan kinerja iki, SCD pancake pancake Sik Susceptor nyedhiyakake pabrik sing padhet, njamin linuwih lan konsistensi ing kahanan pangolahan sing atos lan cocog karo industri semikonduktor modern lan kualitas dhuwur.

Struktur Film Film CVD SIC

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD

Properties fisik dhasar lapisan SIC CVD
Properti	Nilai khas
Struktur kristal	FCC β Fase Polycrystalline, utamane (111) orientasi
Kapadhetan	3.21 g / cm³
Hardness	2500 Vickers (52G Muu)
Ukuran gandum	2 ~ 10mm
Kemurnian kimia	99.99995%
Kapasitas panas	640 J · KG-1· K-1
Suhu sublimasi	2700 ℃
Kekuwatan fleksibal	415 MPA RT 4-poin
Modulus enom	430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Konduktivitas termal	300w · m-1· K-1
Ekspansi Termal (Cte)	4,5 × 10-6K-1