Kabar

Artikel iki utamane nggambarake prospek aplikasi sing amba saka keramik karbida silikon. Uga fokus ing analisis panyebab retak sinter ing keramik karbida silikon lan solusi sing cocog.

Teknologi etching ing pabrik semikonduktor asring nemoni masalah kayata efek loading, efek micro-alur lan efek ngisi daya, sing mengaruhi kualitas produk. Solusi dandan kalebu ngoptimalake kapadhetan plasma, nyetel komposisi gas reaksi, Ngapikake efisiensi sistem vakum, ngrancang tata letak litium vakum, lan milih bahan topeng lithgraft sing cocog.

Sintering panas minangka metode utama kanggo nyiapake keramik SIC kanthi dhuwur. Proses sintering panas kalebu: milih bubuk SIC sing dhuwur, mencet lan ngecor ing suhu dhuwur lan tekanan sing dhuwur, banjur gawe dosa. Keramik SIC sing disiapake dening cara iki duwe kaluwihan saka kesucian lan kapadhetan sing dhuwur, lan digunakake digunakake ing cakram giling lan peralatan perawatan panas kanggo pangolahan wafer.