Produk

Lapisan Silicon Carbide

VeTek Semiconductor spesialisasi ing produksi produk Lapisan Silicon Carbide Ultra murni, lapisan iki dirancang kanggo ditrapake kanggo komponen grafit, keramik, lan logam refraktori sing diresiki.


Lapisan kemurnian dhuwur utamane ditargetake digunakake ing industri semikonduktor lan elektronik. Iki minangka lapisan protèktif kanggo operator wafer, susceptor, lan unsur pemanas, nglindhungi saka lingkungan korosif lan reaktif sing ditemoni ing proses kayata MOCVD lan EPI. Proses kasebut minangka integral kanggo pangolahan wafer lan manufaktur piranti. Kajaba iku, lapisan kita cocog kanggo aplikasi ing tungku vakum lan pemanasan sampel, ing ngendi lingkungan vakum, reaktif, lan oksigen sing dhuwur ditemokake.


Ing VeTek Semiconductor, kita nawakake solusi lengkap kanthi kapabilitas toko mesin canggih. Iki ngidini kita nggawe komponen dhasar nggunakake grafit, keramik, utawa logam refraktori lan aplikasi lapisan keramik SiC utawa TaC ing omah. Kita uga nyedhiyakake layanan lapisan kanggo bagean sing disedhiyakake pelanggan, njamin keluwesan kanggo nyukupi kabutuhan sing beda-beda.


Produk Silicon Carbide Coating kita akeh digunakake ing Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP / RTA, proses etsa, proses etsa ICP / PSS, proses macem-macem jinis LED, kalebu LED biru lan ijo, UV LED lan jero-UV LED etc., kang dicocogake kanggo peralatan saka LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI lan ing.


Bagian reaktor sing bisa ditindakake:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Silicon Carbide Coating sawetara kaluwihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semikonduktor Silicon Carbide Coating Parameter

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC
Properti Nilai Khas
Struktur Kristal FCC β fase polikristalin, utamané (111) oriented
SiC coating Kapadhetan 3,21 g/cm³
SiC coatingKekerasan Kekerasan 2500 Vickers (beban 500g)
Ukuran Gandum 2~10μm
Kemurnian Kimia 99.99995%
Kapasitas panas 640 J·kg-1· K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4-titik
Modulus Young 430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
Konduktivitas termal 300W·m-1· K-1
Thermal Expansion (CTE) 4.5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Nozzle Coating CVD SiC

Nozzle Coating CVD SiC

Nozzle Coating CVD SiC minangka komponen penting sing digunakake ing proses epitaksi LPE SiC kanggo nyetop bahan karbida silikon sajrone manufaktur semikonduktor. Nozel iki biasane digawe saka bahan silikon karbida sing suhu dhuwur lan stabil kanthi kimia kanggo njamin stabilitas ing lingkungan pangolahan sing atos. Dirancang kanggo deposisi seragam, dheweke duwe peran penting kanggo ngontrol kualitas lan keseragaman lapisan epitaxial sing ditanam ing aplikasi semikonduktor. Welcome priksaan luwih.
Pelindung CVD Coating Protector

Pelindung CVD Coating Protector

Vetek Sik Sik Sik Sik Sikmonductor's CVD Sikmonductor sing digunakake yaiku Epitexy SIC LPE, istilah "lpe" biasane nuduhake epitexy tekanan rendah (LPE) kanthi pemendangan uap kimia sing kurang meksa (LPCVD). Ing Pabrik Semikonduktor, LPE minangka teknologi proses penting kanggo ngembang film tipis tunggal kristal, asring digunakake kanggo tuwuh lapisan silikon epitoxial utawa lapisan epitornduktor liyane.pls ora ragu-ragu hubungi kita kanggo pitakonan liyane.
SiC Coated Pedestal

SiC Coated Pedestal

Vetek Semiconductor profesional ing lapisan lapisan CVD CVD, lapisan lapisan grafit lan silikon karbida. Kita nyedhiyakake produk OEM lan ODM kaya Payestal Coated Sic, Chefer Chuck, Trik Wefer, Kita bisa nyedhiyani piranti kanthi cepet ing ngisor 5ppm.Looking maju Saka sampeyan rauh.
SiC Coating Inlet Ring

SiC Coating Inlet Ring

Vetek semikonduktor luwih unggul ing kolaborasi klien kanggo kerajinan desain bespoke kanggo cincin plancongan lapisan sing cocog karo kabutuhan khusus. Dering lapisan cilik kasebut minangka direkayasa kanthi apik kanggo aplikasi sing beda-beda kayata aplikasi SIC CVD lan Epitexy Silicon Carbide. Kanggo solusi dering lapisan mlebu sic sing cocog, aja ragu-ragu kanggo nggayuh semikonduktor dokter kanggo pitulung pribadi.
Cincin Dhukungan Coated Sic

Cincin Dhukungan Coated Sic

VeTek Semiconductor minangka produsen lan pemasok profesional China, utamane ngasilake cincin dhukungan sing dilapisi SiC, lapisan silikon karbida (SiC) CVD, lapisan tantalum karbida (TaC). We are setya nyediakake technical support sampurna lan solusi produk pokok kanggo industri semikonduktor, welcome kanggo hubungi kita.
Wafer chuck

Wafer chuck

Wafer cuwilan alat clamping wafer ing proses semikonduktor lan digunakake digunakake ing PVD, CVD, ETCH lan liyane process.Vetek Semiconductor kang wafer Chuck muter peran pivotal ing produksi semikonduktor, mbisakake cepet, output kualitas dhuwur. Kanthi manufaktur ing omah, rega sing kompetitif, lan dhukungan R&D sing kuat, Vetek Semiconductor unggul ing layanan OEM / ODM kanggo komponen presisi. Looking forward kanggo pitakon sampeyan.
Minangka Produsen lan supplier profesional Lapisan Silicon Carbide ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept