Prau grafit kanggo pecvd

Aplikasi: Boat grafit VetekSemoicon kanggo PECVD minangka komponen inti ing proses peningkatan kimia sing ditingkatake plasma. Iki dirancang khusus kanggo nyepakke silikon nitride sing bermutu tinggi, silikon oksida lan film tipis liyane ing wafers silikon, semikonduktor senyawa lan panel tampilan lan panel tampilan. Kinerja kasebut langsung nemtokake keseragaman film, proses stabilitas lan biaya produksi.

Layanan sing bisa diwenehake: Analisis skenario aplikasi pelanggan, bahan sing cocog, ngatasi masalah teknis.

Profil Perusahaan: VetekSemicon duwe 2 laboratorium, tim ahli kanthi 20 taun pengalaman materi, kanthi kemampuan produksi, produksi lan pilihan.

Informasi Produk Umum

Istilah Bisnis Produk

Lapangan aplikasi utama

Prau grafit veteksemikon kanggo kaluwihan inti pecvd

1. Substrat sing gedhe-gedhe, polusi ngontrol sumber

Kita mekso nganggo grafit kesurnesan sing dhuwur banget Isosatically kanthi kemurnian stabil luwih saka 99.995% minangka bahan dhasar kanggo mesthekake yen ora bakal ngilangi impurities logam sanajan ing lingkungan operasi sing terus-terusan 1600 ° C. Perseluran materi sing ketat bisa ngindhari karusakan kinerja wafer sing disebabake dening kontaminasi operasional, nyedhiyakake jaminan dhasar kanggo nyelehake film siliking siliking utawa silikon kanthi kualitas tinggi utawa silikon.

2. Lapangan termal sing tepat lan struktural desain kanggo njamin keseragaman proses

Liwat simulasi cairan sing akeh lan proses data pangukuran, kita wis ngoptimalake sudhut slot prau, nuntun alur alur, lan dalan aliran gas. Pertimbangan struktural meticulous iki ngidini distribusi seragam gas reaktif ing antarane wafers. Pangukuran nyata nuduhake yen kanthi lengkap, panyimpangan keseranan saka film ketebalan ing antarane wafers ing kumpulan sing padha bisa dikontrol ing ± 1,5%, entuk asil produk.

3. Solusi lapisan sing disesuaikan kanggo ngatasi karat proses khusus

Kanggo ketemu lingkungan proses gas sing beda-beda kanggo para pelanggan, kita nawakake rong pilihan lapisan diwasa sing diwasa: karbon PyrolyTitik lan karbida silikon. Yen sampeyan duwe deposit silikon silikon nitrida Nitride lan nggunakake reresik hidrogen, lapisan karbon pirroylitik sing kandhel bisa nyedhiyakake resistansi sing apik banget kanggo erosi hidrogen plasma. Yen proses sampeyan melu gas sing diisi fluorine, banjur lapisan karbohidrat silikon dhuwur dadi pilihan sing luwih apik. Bisa ngluwihi layanan layanan saka kapal grafit ing lingkungan sing luwih corrosive luwih saka kaping telu saka produk sing ora disengaja biasa.

4. Stabilitas kejut termal sing apik banget, adaptasi kanggo siklus suhu sing asring

Thanks kanggo rumus grafit grafit sing unik lan desain iga internal kita bisa nahan rancangan sing cepet lan pemanasan proses pecvd. Ing tes laboratorium sing angel banget, sawise 500 siklus termal kanthi cepet saka suhu kamar nganti 800 ° C, tarif penylametan kekuatan kapal sing isih diluncurake lan njamin lampahing lan safety produksi.

5. Eksklusif verifikasi ekologis

VetekSemoicon boat grafit kanggo verifikasi rantai ekologis pecvd nyakup bahan mentah menyang produksi, lan duwe sawetara teknologi sing dipatenake kanggo njamin linologia lan kelestarian ing lapangan semikonduktor lan energi energi anyar.

Kanggo spesifikasi teknis sing rinci, makalah putih, utawa conto pengujian pengujian, hubungi tim dhukungan teknis kanggo njelajah kepiye para dokter dokter vetekSemik bisa nambah efisiensi proses.