Cincin sing ditutupi tungku

Ing tungku vertikal, panggunaan cincin dilapisi SIC minangka solusi sing umum, utamane digunakake ing proses perawatan panas suhu suhu dhuwurWafers semikonduktor. Dering dilapisi SiC tungku vertikal minangka komponen tahan suhu sing dhuwur lan dhuwur sing digunakake kanggo ndhukung utawa nglindhungi wafer kanggo njamin stabilitas lan linuwih proses kasebut.

Fungsi Cincin Vertikal Tungku Tungku

● Fungsi

Peran pendukung. Digunakake kanggo ndhukung wafer kanggo njamin stabilitas lan posisi akurat ing tungku suhu dhuwur.

●  Perlindhungan Korosi

Nyegah gas utawa bahan kimia sing corrosive saka corroding materi dhasar.

●  Ngurangi polusi

Pelapisan SIC sing dhuwur banget bisa nyegah kontaminasi partikel lan kekurangan sing ora yakin kanggo njamin kabersihan proses.

●  Rintangan suhu dhuwur

Nenakake sifat mekanik sing apik lan stabilitas dimensi ing lingkungan suhu sing dhuwur (biasane luwih saka 1000 ° C).

Fitur saka Vertical Furnace SiC dilapisi ring

●  Hardness lan Kekuwatan Dhuwur

Bahan SiC nduweni kekuatan mekanik sing apik lan bisa nahan tekanan suhu dhuwur ing tungku.

●  Stabilitas termal sing apik

Konduktivitas termal dhuwur SiC lan koefisien ekspansi termal sing sithik mbantu nyuda stres termal.

●  Stabilitas kimia sing kuwat

Kelipis SIC bisa nolak karat ing lingkungan oksiditas, asam utawa alkalin.

●  Kontaminasi partikel sithik

Lumahing sing lancar nyuda kemungkinan generasi partikel, sing cocog banget kanggo lingkungan resik sing resik resik manufactures.

Digunakake kanggo difusi, oksidasi, anil lan proses liyane ing tungku vertikal kanggo ndhukung wafer silikon lan nyegah kontaminasi partikel sajrone perawatan panas.

Bahan lan proses manufaktur

● Substrat: digawe saka grafit SGL berkualitas tinggi, kualitas kasebut dijamin.

● Pelapisan: Lapisan karbida silikon ditrapake ing permukaan grafit kanthi Dependinasi uap kimia kanthi deposisi uap kimia (CVD).

● Kekandelan lapisan biasane antarane 50 ~ 500μm, sing wis diatur miturut syarat.

● Pelapisan uap kimia duwe kesucian lan kapadhetan sing luwih dhuwur, lan daya tahan sing luwih apik.

Pilih sing cocogSIC lapisanCincin miturut diameter wafer silikon ing tungku lan spesifikasi operator. Kita bisa ngatur kanggo sampeyan. Kemurnian dhuwur, lapisan sing kandhel luwih tahan lama lan kurang polling.

Minangka supplier lan pabrikan cincin dilapisi Vertical Furnace SiC profesional ing China, VeTek Semiconductor wis suwe setya nyedhiyakake teknologi Vertical Furnace lan solusi produk kanggo industri semikonduktor. We Sincerely looking nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Struktur Film Film CVD SIC

Sifat fisik dhasar saka lapisan CVD SiC

VeTek SemikonduktorToko ring tungku vertikal SIC dilapisi: