Produk

Tantalum Carbide Coating

Semikonduktor VeTek minangka produsen utama bahan Tantalum Carbide Coating kanggo industri semikonduktor. Penawaran produk utama kalebu bagean lapisan karbida tantalum CVD, bagean lapisan TaC sing disinter kanggo pertumbuhan kristal SiC utawa proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor nduweni kontrol kualitas sing apik. VeTek Semiconductor darmabakti kanggo dadi inovator ing industri Tantalum Carbide Coating liwat riset lan pangembangan teknologi iteratif.


Produk utama yaikuTaC Coated Guide Ring, CVD TaC dilapisi ring guide telung petal, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC lapisan susceptor epitaxial SiC planet, Tantalum Carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Porous Graphite, TaC Coating Rotasi Susceptor, Ring Tantalum Carbide, TaC Coating Rotasi Plate, TaC dilapisi wafer susceptor, TaC Coated Deflector Ring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chucketc., kemurnian ngisor 5ppm, bisa ketemu syarat customer.


Grafit lapisan TaC digawe kanthi nutupi permukaan substrat grafit kanthi kemurnian dhuwur kanthi lapisan tantalum karbida kanthi proses Deposisi Uap Kimia (CVD) proprietary. Kauntungan ditampilake ing gambar ing ngisor iki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum carbide (TaC) wis entuk perhatian amarga titik leleh sing dhuwur nganti 3880 ° C, kekuatan mekanik sing apik, kekerasan, lan tahan kanggo kejut termal, dadi alternatif sing apik kanggo proses epitaksi semikonduktor senyawa kanthi syarat suhu sing luwih dhuwur, kayata sistem Aixtron MOCVD lan proses epitaksi LPE SiC. Uga nduweni aplikasi sing akeh ing proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●kemurnian Ultra dhuwur

 ●Resistance kanggo H2, NH3, SiH4, Si

 ●Resistance kanggo stock termal

 ●Adhesion kuwat kanggo grafit

 ●Jangkoan lapisan conformal

 Ukuran nganti diameter 750 mm (Produsen mung ing China tekan ukuran iki)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Susceptor pemanasan induktif

 ● unsur panas resistif

 ●disk satelit

 ●Sirah padusan

 ●Ring guide

 ●panrima LED Epi

 ●Nozzle injeksi

 ●Masking ring

 ● tameng panas


Lapisan tantalum karbida (TaC) ing bagean silang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Sifat fisik lapisan TaC
Kapadhetan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000 HK
Resistance 1×10-5Om *cm
Stabilitas termal <2500 ℃
owah-owahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai khas ≥20um (35um±10um)


TaC coating data EDX

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal lapisan TaC:

unsur Atom persen
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tutup Pelapisan CVD TAC

Tutup Pelapisan CVD TAC

Tutup lapisan lapisan CVD sing diwenehake dening Vetek Semiconduktor minangka komponen khusus sing dirancang khusus kanggo aplikasi sing nuntut. Kanthi fitur canggih lan kinerja sing luar biasa, tutup lapisan TAC kita nawakake sawetara kaluwihan tombol utama.Our CVD TAC Cover Cover nyedhiyakake protasi lan kinerja sing dibutuhake kanggo sukses karo sampeyan!
Susceptor planet lapisan tac

Susceptor planet lapisan tac

Sustur Plan Planet Tac minangka produk sing luar biasa kanggo peralatan AIxtron Epitoxy. Pelapis detek semanikondubtor nyedhiyakake resistensi suhu dhuwur lan inertness kimia. Gabungan unik iki kanggo mesthekake kinerja lan layanan sing bisa dipercaya, sanajan nuntut lingkungan. Vetek setya nyedhiyakake produk sing berkualitas tinggi lan dadi mitra jangka panjang ing pasar Cina kanthi rega kompetitif.
Plat Dhukungan Dhukungan Payestal Tac

Plat Dhukungan Dhukungan Payestal Tac

Lapisan tac bisa tahan suhu 2200 ℃. Vetek semiconduktor nyedhiyakake lapisan tAC sing dhuwur kanthi reged ing ngisor 5pp ing China. Piring dhukungan pelapis tac bisa tahan, argonin ing Chamber Realaction Chamber.it nambah layanan kanggo produk kasebut. Sampeyan nyedhiyakake syarat kasebut, kita nyedhiyakake kustomisasi.
Tac Coating Chuck

Tac Coating Chuck

Vetek Semikonduktor's TAC Cailing Chats duwe lapisan dhuwur sing bermutu sing apik, sing dikenal amarga resistensi suhu dhuwur lan kimia, utamane ing proses Silic Vitaxy (SIC). Kanthi fitur sing luar biasa lan kinerja sing unggul, Chuck lapisan TAC kita nawakake sawetara kaluwihan tombol tombol.We setya nyedhiyakake produk sing kompetitif lan ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
CRD TAC COATS CATETAN

CRD TAC COATS CATETAN

Ing industri semikonduktor, CVD lapisan cVD tAC minangka komponen sing paling mupangate sing dirancang kanggo nyukupi syarat nuntut silikon karbida (SIC) proses pertumbuhan kristal. Rinta lapisan vetek semikonduktor nyedhiyakake resistensi suhu dhuwur lan inertness kimia, nggawe pilihan sing cocog karo lingkungan lan kahanan sing cocog karo macem-macem aksesoris corcrosive Carvicons Carbide tunggal. Pls rumangsa hubungi kita kanggo pitakonan liyane.
LPE SIC EPI HAFHMOON

LPE SIC EPI HAFHMOON

LPE SiC Epi Halfmoon minangka desain khusus kanggo tungku epitaksi horisontal, produk revolusioner sing dirancang kanggo ngunggahake proses epitaksi SiC reaktor LPE. Solusi mutakhir iki nduweni sawetara fitur utama sing njamin kinerja lan efisiensi sing unggul sajrone operasi manufaktur sampeyan. Vetek Semiconductor profesional ing manufaktur LPE SiC Epi halfmoon ing 6 inch, 8inch. Looking forward kanggo nyetel kerjasama jangka panjang karo sampeyan.
Minangka Produsen lan supplier profesional Tantalum Carbide Coating ing China, kita duwe pabrik dhewe. Apa sampeyan mbutuhake layanan khusus kanggo nyukupi kabutuhan wilayah tartamtu utawa pengin tuku sing digawe lan awet sing digawe ing China, sampeyan bisa ninggalake pesen.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept