Providence Veeco Mocvd

Tawaran semikonduktorVEECO MOCVDWAFER SURCEPTOR minangka komponen kritis, sing direkayasa kanthi nggunakake grafit ultrapure kanthi alapisan karbida (sic)Waca rangkeng-. IkiSIC lapisanNyedhiyakake akeh mupangat, paling ora bisa mindhah termal termal transfer menyang landasan. Ngasilake distribusi termal sing optimal ing landasan penting kanggo kontrol suhu seragam, njamin pemendakan film sing seragam, njamin pemendakan film tipis kanthi dhuwur, sing penting ing pabrik piranti semikonduktor.

Paramèter teknis

Matrikts sifat-bahan material

Indikasi Key Vetek Solusi tradisional Vetek

KURNITAN Bahan Bahan 6N grafit 5N sinetir grafit grafit

Gelar Cle Cle Cocog (25-1400 ℃) Δα Δα × 10⁻⁶ / K δ1.2 × 10⁻⁶ / K

Konduktivitas termal @ 800 ℃ 110 w / m · k 85 w / m · k

Kekerasan permukaan (RA) ≤0.1μm ≥0.5μm

Toleransi Asam (PH = 1 @ 80 ℃) 1500 siklus 300 siklus

Reconstruksi Keuntungan

Inovasi Manajemen termal

Teknik cocog Cte Atom

Jepang TOYA karbon Graphit / Sgl Substrate + Gradient coating

Stres Siklus termal dikurangi 82% (diukur 1400 siklus 500 tanpa retak)

Desain lapangan termal cerdas

Struktur ganti rugi 12-zona: nggayuh ± 0,5 ℃ keseragaman ing permukaan wafer φ200mm

Tanggepan termal dinamis: gradient suhu ≤1.2 ℃ / cm ing tingkat pemanasan 5 ℃ / s

Sistem Perlindungan Kimia
Bareng Komponen Triple

50μ liyane lapisan pelindung utama

Lapisan transisi nanotac (opsional)

Gas Infiltrated Densification

Diverifikasi dening ASTM G31-21:

CL Rating Korosi Pasar <0.003mm / Taun

Nh3 kapapar 1000h tanpa karat bates

Sistem Manufaktur Cerdas

Pangolahan kembar digital

Pusat Mesin Lima Axis: Akurasi Posisi ± 1.5μm

Pemriksaan scanning 3D online: 100% verifikasi ukuran ukuran (sesuai karo asme y14.5)

Presentasi Nilai adhedhasar skenario

Produksi Mass Semomonduktor Generasi Katelu

Proses Skenario Aplikasi Pelanggan Mupangat

Gan Hemt 6 inci / 150μm Epitormal Elektron Elektron-Dimensiz Elektron Elektronik-Dimensi <2%

SIC Mosfet C DOPOORMity ± 3% voltase voltase ambang 3% seberangan dikurangi 40%

Seragam Dhiskusi Mikro LED ± 1.2nm chip bin tarif tambah 15%

Optimisasi biaya pangopènan

Wektu reresik lengkap 3 kaping: hf: hno ₃ = 1: 3 reresik intensitas sing dhuwur didhukung

Sistem Prediksi Urip Spare: Akurasi AI Algoritma saka ± 5%

Vetek semikonduktor toko susceptor: